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上海光学精密机械研究... [8]
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学位论文 [8]
学科主题
光学工程 [8]
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基于低平流层激光测风雷达的光学鉴频器精密温控与光谱标定技术研究
学位论文
作者:
赵存峰
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2018/12/26
激光测风雷达
Wind Lidar
光学鉴频器
Optical discriminator
温度
Temperature
光谱标定
Spectral calibration
基于粒子群算法的光刻机光源掩模投影物镜优化技术
学位论文
作者:
王磊
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2018/12/26
光刻
optical lithography
分辨率增强技术
resolution enhancement technique
光源掩模投影物镜优化
source mask projector optimization
粒子群算法
particle swarm optimization
基于空心光束的积分球冷却及小型化光学系统研究
学位论文
作者:
王鑫
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2018/12/26
激光冷却
Laser cooling
积分球冷原子钟
Integrating sphere cold atom clock
空心光束
Hollow laser beam
小型化光学系统
Integrated optical system
星载激光雷达激光频率精密控制技术研究
学位论文
作者:
杜娟
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2018/12/26
频率调制光谱稳频,光学锁相环,1572nm种子激光器,1064nm种子激光器,IPDA激光雷达,高光谱分辨率激光雷达
Frequency-modulation spectrum stabilization, Optical phase-locked loop, 1572nm seed laser, 1064nm seed laser, IPDA lidar, High spectral resolution lidar
高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究
学位论文
作者:
程伟林
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浏览/下载:166/0
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提交时间:2018/12/26
高端光刻机照明系统
Advanced lithographic illumination
智能均匀性校正技术
intelligent uniformity correction
手指阵列式均匀性校正技术
finger arreys uniformity correction
阵列式手指驱动技术
finger array driving technology
星载激光雷达激光频率精密控制技术研究
学位论文
作者:
杜娟
收藏
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2018/12/26
频率调制光谱稳频
Frequency-modulation spectrum stabilization
光学锁相环
Optical phase-locked loop
1572nm种子激光器
1572nm seed laser
1064nm种子激光器
1064nm seed laser
IPDA激光雷达
IPDA lidar
高光谱分辨率激光雷达
High spectral resolution lidar
单频激光器噪声抑制技术研究
学位论文
作者:
秦晓琼
收藏
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浏览/下载:60/0
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提交时间:2018/12/26
单频激光器,强度噪声,线宽,相位噪声,噪声抑制
Single-frequency laser, intensity noise, linewidth, phase noise, noise reduction
浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究
学位论文
作者:
诸波尔
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浏览/下载:129/0
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提交时间:2018/12/26
浸没式光刻机
Immersion lithography tool
投影物镜
Projection lens
波像差检测
Wavefront aberration measurement
空间像
Aerial image
主成分分析
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