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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：268/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   高能量宽带CPA、OPCPA放大器及其泵浦源研究 学位论文 作者:  李文启 收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2018/12/26 拍瓦级超强超短激光  petawatt ultra-intense ultra-short laser pulse  光参量啁啾脉冲放大  optical parametric chirped pulse amplification  千焦耳泵浦源系统  pump source system  啁啾脉冲放大  chirped pulse amplification   星载大气激光雷达光机集成分析的研究 学位论文 作者:  穆永吉 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2018/12/26 激光雷达，光机集成分析，有限元分析，光学设计，Zernike拟合  Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting