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上海光学精密机械研究... [2]
西安光学精密机械研究... [1]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
2009 [1]
学科主题
光学工程 [3]
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学科主题:光学工程
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一种多功能动态检测设备的设计与研究
学位论文
硕士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009
刘满林
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浏览/下载:61/0
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提交时间:2011/10/09
检测架
动态靶标
动态测角精度
视向运动
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高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究
学位论文
作者:
程伟林
收藏
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浏览/下载:161/0
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提交时间:2018/12/26
高端光刻机照明系统
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智能均匀性校正技术
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阵列式手指驱动技术
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调平聚焦伺服控制系统的优化设计
学位论文
作者:
宗永红
收藏
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浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2018/12/26
光栅
grating
调平调焦
leveling and focusing
差动像散
differential astigmatism
反馈控制
feedback control
误差分析与校正
error analysis and correction
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