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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：264/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   星载大气激光雷达光机集成分析的研究 学位论文 作者:   收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2018/12/26 激光雷达，光机集成分析，有限元分析，光学设计，Zernike拟合  Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting   星载激光雷达激光频率精密控制技术研究 学位论文 作者:  杜娟 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2018/12/26 频率调制光谱稳频，光学锁相环，1572nm种子激光器，1064nm种子激光器，IPDA激光雷达，高光谱分辨率激光雷达  Frequency-modulation spectrum stabilization, Optical phase-locked loop, 1572nm seed laser, 1064nm seed laser, IPDA lidar, High spectral resolution lidar   星载激光雷达激光频率精密控制技术研究 学位论文 作者:  杜娟 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2018/12/26 频率调制光谱稳频  Frequency-modulation spectrum stabilization  光学锁相环  Optical phase-locked loop  1572nm种子激光器  1572nm seed laser  1064nm种子激光器  1064nm seed laser  IPDA激光雷达  IPDA lidar  高光谱分辨率激光雷达  High spectral resolution lidar   调平聚焦伺服控制系统的优化设计 学位论文 作者:  宗永红 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅  grating  调平调焦  leveling and focusing  差动像散  differential astigmatism  反馈控制  feedback control  误差分析与校正  error analysis and correction