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基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文
作者:  郑亚忠
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虹膜识别技术及其应用研究 学位论文
作者:  薛康福
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在线可更换模块(LRU)调平与对接关键技术研究 学位论文
作者:  王世魏
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光学测量中的二维Gold矩阵方法 学位论文
作者:  李号
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