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接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  张伟
收藏  |  浏览/下载:25/0  |  提交时间:2016/12/30
主动自由曲面补偿光学系统像差研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  周超
收藏  |  浏览/下载:41/0  |  提交时间:2016/12/30
基于原子芯片的原子输运研究 学位论文
作者:  赵子豪
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2018/12/26
基于粒子群算法的光刻机光源掩模投影物镜优化技术 学位论文
作者:  王磊
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2018/12/26


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