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上海光学精密机械研究... [2]
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学位论文 [2]
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光学工程 [2]
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学科主题:光学工程
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星载大气激光雷达光机集成分析的研究
学位论文
作者:
穆永吉
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2018/12/26
激光雷达,光机集成分析,有限元分析,光学设计,Zernike拟合
Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting
高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究
学位论文
作者:
程伟林
收藏
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浏览/下载:167/0
  |  
提交时间:2018/12/26
高端光刻机照明系统
Advanced lithographic illumination
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手指阵列式均匀性校正技术
finger arreys uniformity correction
阵列式手指驱动技术
finger array driving technology
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