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上海光学精密机械研究... [1]
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学位论文 [1]
学科主题
光学工程 [1]
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大视场成像椭偏仪及其应用研究
学位论文
作者:
谷利元
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提交时间:2018/12/26
成像椭偏仪,大视场,测量技术,超薄金属薄膜,厚度参数,表面等离子体共振
Imaging Ellipsometer,Large field of view,Measuring technology,Ultra-thin metal film,Thickness parameter,Surface Plasmon Resonance
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