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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：316/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   皮秒脉冲激光时间特性测量技术研究 学位论文 作者:  孔雪 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2018/12/26 高功率激光，超短脉冲，脉宽测量，单次自相关  High Power Laser, Ultrashort Pulse, Pulsewidth Measurement, Single-shot Autocorrelation   级联锥形折射环形泵浦的模式可调的涡旋光激光器 学位论文 作者:  吴勇晓 收藏  |  浏览/下载：62/0  |  提交时间：2018/12/26 涡旋光束  Vortex beam  环形光泵浦  annular pumping  Nd:YAG激光器  Nd:YAG laser  级联锥形折射  cascade conical refraction   大尺寸全息光栅曝光系统及条纹锁定系统 学位论文 作者:  张栋 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2018/12/26 全息光栅  holographic grating  干涉条纹  interference fringe  相位锁定  phase locking  光栅周期  grating period