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上海光学精密机械研究... [4]
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学位论文 [4]
学科主题
光学工程 [4]
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学科主题:光学工程
专题:上海光学精密机械研究所
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基于粒子群算法的光刻机光源掩模投影物镜优化技术
学位论文
作者:
王磊
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2018/12/26
光刻
optical lithography
分辨率增强技术
resolution enhancement technique
光源掩模投影物镜优化
source mask projector optimization
粒子群算法
particle swarm optimization
基于三维扫描技术对古代陶瓷器的科学研究
学位论文
作者:
赵灵委
收藏
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浏览/下载:46/0
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提交时间:2018/12/26
三维扫描,陶瓷器,无损分析,文物保护
Three-dimension scanning, Ceramics,Non-destructive analysis, Preservation of cultural relics
高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究
学位论文
作者:
程伟林
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浏览/下载:167/0
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提交时间:2018/12/26
高端光刻机照明系统
Advanced lithographic illumination
智能均匀性校正技术
intelligent uniformity correction
手指阵列式均匀性校正技术
finger arreys uniformity correction
阵列式手指驱动技术
finger array driving technology
长距离Φ-OTDR关键技术研究
学位论文
作者:
王照勇
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浏览/下载:111/0
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提交时间:2018/12/26
相位敏感光时域反射计
Φ-OTDR
分布式光纤传感
distributed fiber sensing technology
定量化
quantitative measurement
长距离检测
long-haul monitoring
超高响应带宽
ultra-broad response bandwidth.
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