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科研机构
上海光学精密机械研究... [4]
西安光学精密机械研究... [2]
内容类型
学位论文 [6]
发表日期
2009 [1]
2004 [1]
学科主题
光学工程 [6]
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学科主题:光学工程
内容类型:学位论文
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多狭缝光电自准直仪狭缝类型与细分算法研究
学位论文
硕士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009
作者:
刘爱敏
收藏
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2011/10/09
光电自准直仪
自准直原理
频率域分析法
多狭缝类型
CCD亚像素细分算法
MATLAB编程
多通道光学成像系统数据处理技术的研究
学位论文
博士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2004
屈有山
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浏览/下载:45/0
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提交时间:2011/10/09
多通道
运动点目标
预处理
检测
识别
图像配准
小波变换
图像重建
基于迭代算法的快速相位测量技术研究
学位论文
作者:
姚玉东
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浏览/下载:42/0
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提交时间:2018/12/26
相干衍射成像,相位测量,快速数据采集,光场调制,数字化调制
coherent diffractIve imaging,phase measurement,fast data acquisition, light field modulation, digital modulation
基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
作者:
郑亚忠
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浏览/下载:325/0
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提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
高密度光栅中的简化模式方法
学位论文
作者:
项长铖
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2018/12/26
简化模式方法
Simpified modal method
衍射光栅
Diffraction grating
谐振
Resonance
光学测量
Optical measurement
高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究
学位论文
作者:
程伟林
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浏览/下载:157/0
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提交时间:2018/12/26
高端光刻机照明系统
Advanced lithographic illumination
智能均匀性校正技术
intelligent uniformity correction
手指阵列式均匀性校正技术
finger arreys uniformity correction
阵列式手指驱动技术
finger array driving technology
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