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科研机构
电工研究所 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2010 [4]
学科主题
信息与系统科学相关工... [4]
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学科主题:信息与系统科学相关工程与技术
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纳米压印光刻技术及其设备研制
期刊论文
中国机械工程, 2010
顾文琪
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提交时间:2010/09/29
气囊气缸式紫外纳米压印系统的设计
期刊论文
半导体光电, 2010
顾文琪
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2010/09/29
气囊气缸式真空紫外纳米压印设备研制
期刊论文
光电工程, 2010
顾文琪
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2010/09/29
应用传统紫外光刻机进行紫外压印
期刊论文
电子工业专用设备, 2010
顾文琪
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提交时间:2010/09/29
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