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长春光学精密机械与物... [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2020 [1]
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机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究
期刊论文
机械设计与制造, 2020, 期号: 05, 页码: 37-40
作者:
张宝庆
;
张绍泽
;
曹聪
;
高劲松
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提交时间:2021/07/06
机刻光栅
复合基底
残余应力
薄膜
压痕
模拟
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