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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2019     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 InAs/GaSb Ⅱ类超晶格台面的ICP刻蚀研究 期刊论文 红外与毫米波学报, 2019, 卷号: 38, 期号: 2, 页码: 171-174 作者:  许佳佳;  黄敏;  徐庆庆;  徐志成;  王芳芳 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2019/11/13 电感耦合等离子  刻蚀  InAs/GaSb Ⅱ类超晶格  焦平面