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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2019    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 中红外全固态激光器热电控制关键技术研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  于德洋 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2020/08/24 中红外激光器  热电控制  高精度温控  半导体激光驱动  无液冷热控   激光相干测振信号处理技术研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  晏春回 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2020/08/24 激光相干探测  激光线宽  相位噪声  正交解调  信号处理技术   压电驱动式伺服跟踪转台的摩擦补偿控制研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  李先峰 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2020/08/24 压电马达  PAT控制  摩擦补偿  滑模控制  鲁棒控制   投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  赵磊 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2020/08/24 投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜   光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  张璐 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测