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低阶梯多级微反射镜高度误差分析及制作研究 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 04, 页码: 791-803
作者:  张敏;  吕金光;  梁静秋;  梁中翥;  秦余欣
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