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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2018     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Realization and Characterization of a Bulk-Type All-Silicon High Pressure Sensor 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 231-238 作者:  Chan, Elena;  Lin, Dequan;  Lu, Lei;  Zhang, Deqiang;  Guo, Shichao 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2018/09/26 Pressure sensor  piezoresistive  MEMS  silicon  bulk  eutectic bonding   Realization and Characterization of a Bulk-Type All-Silicon High Pressure Sensor 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2018, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 231-238 作者:  Chan, Elena;  Lin, Dequan;  Lu, Lei;  Zhang, Deqiang;  Guo, Shichao 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2018/09/26 Pressure sensor  piezoresistive  MEMS  silicon  bulk  eutectic bonding   An optical fiber Fabry-Perot micro-pressure sensor based on beam-membrane structure 期刊论文 MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2018, 卷号: 29 作者:  Tian, Bian;  Zhan, Feng;  Han, Feng;  Li, Kaikai;  Zhao, Na 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/11/26 beam-membrane structure  FP cavity  MEMS  micro-pressure  optical fiber sensor   A Manganin Thin Film Ultra-High Pressure Sensor for Microscale Detonation Pressure Measurement 期刊论文 SENSORS, 2018, 卷号: 18 作者:  Zhang, Guodong;  Zhao, Yulong;  Zhao, Yun;  Wang, Xinchen;  Wei, Xueyong 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/11/26 detonation pressure  manganin thin film  MEMS technology  microscale measurement  ultra-high pressure sensor   Research of a Novel Ultra-High Pressure Sensor with High-Temperature Resistance 期刊论文 MICROMACHINES, 2018, 卷号: 9 作者:  Zhang, Guo-Dong;  Zhao, Yu-Long;  Zhao, Yun;  Wang, Xin-Chen;  Wei, Xue-Yong 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/11/26 high-temperature resistance  microelectromechanical systems (MEMS) technology  silicon-on-insulator (SOI) piezoresistive element  small size  ultra-high pressure sensor