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原子层沉积制备W掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利号: CN201810489471.1, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
作者:  朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏
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原子层沉积制备Mo掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利号: CN201810489472.6, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
作者:  朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏
收藏  |  浏览/下载:36/0  |  提交时间:2018/12/29
一种微通道板及在微通道板内壁制备Ni掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利号: CN201810791167.2, 申请日期: 2018-07-18, 公开日期: 2019-01-11
作者:  郭俊江;  彭波;  郭海涛;  许彦涛;  朱香平
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一种微通道板及在微通道板内壁制备Ni掺杂AlO高阻薄膜的方法 专利
专利号: CN201810791167.2, 申请日期: 2019-12-31,
作者:  郭俊江;  彭波;  郭海涛;  许彦涛;  朱香平
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2019/09/05
原子层沉积制备Mo掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利号: CN108588680A, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
作者:  朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2019/08/27
原子层沉积制备W掺杂Al2O3高阻薄膜的方法 专利
专利号: CN108588679A, 申请日期: 2018-05-21, 公开日期: 2018-09-28
作者:  朱香平;  邹永星;  赵卫;  郭海涛;  陆敏
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2019/08/30
Growth Behavior Evolution of Al2O3 Deposited on HOPG by Atomic Layer Deposition HOPG上ALD沉积Al2O3介电薄膜的生长行为研究 期刊论文
Xiyou Jinshu Cailiao Yu Gongcheng/Rare Metal Materials and Engineering, 2018, 卷号: 47, 页码: 64-68
作者:  Nie, Xianglong;  Ma, Dayan;  Ma, Fei;  Xu, Kewei
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磁控溅射可控沉积MoS_2基复合薄膜及其摩擦学性能研究 学位论文
2018
作者:  高斌基
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溶胶-凝胶法制备异质外延c轴取向GaN薄膜研究 学位论文
2018
作者:  完彦少君
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2020/11/05
碳纳米结构薄膜界面演变及摩擦磨损性能研究 学位论文
2018
作者:  付宇
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