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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2018     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 探讨用最巨大仪器研究最微小粒子(四) nm工艺流程仪器及代工全球60%芯片制造的tsmc-OEM模式制造“智能”(上) 期刊论文 仪器仪表标准化与计量, 2018, 期号: 4, 页码: 1-8 作者:  沈经 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2019/09/24 光刻  电子束摇摆器  极紫外  离子束注入参杂  晶圆  大规模集成电路  原始设计制造商  原始设备制造商  原始品牌制造商  台积电-OEM模式