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Growth Behavior Evolution of Al2O3 Deposited on HOPG by Atomic Layer Deposition HOPG上ALD沉积Al2O3介电薄膜的生长行为研究 期刊论文
Xiyou Jinshu Cailiao Yu Gongcheng/Rare Metal Materials and Engineering, 2018, 卷号: 47, 页码: 64-68
作者:  Nie, Xianglong;  Ma, Dayan;  Ma, Fei;  Xu, Kewei
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