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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2018    专题：兰州理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Gas Flow Simulation Research on Reaction Chamber of Reactive ion etching 会议论文 作者:  Zhang Jingwen;  Fan Bin;  Li Zhiwei;  Liu Xin;  Li Bincheng 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2019/11/15 reactive ion etching  Fluent(Ansys)  numerical simulation  pressure distribution