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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2018    内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Experimental investigation of standing wave effect in dual-frequency capacitively coupled argon discharges: role of a low-frequency source 期刊论文 PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2018, 卷号: 27 作者:  Zhao, Kai;  Liu, Yong-Xin;  Kawamura, E.;  Wen, De-Qi;  Lieberman, M. A. 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2019/12/02 capacitively coupled plasmas  dual-frequency  standing wave effect  uniformity  PROES