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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2017    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Study on a wideband, variable aperture, high resolution scatterometer for planar diffraction grating stray light measurement 期刊论文 Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 2 作者:  Yang, J.;  R. Zhang;  L. Yin;  C. Sun and T. J. Li 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2018/06/13 Short-range optical limited displacement resolution in laser heterodyne detection system 期刊论文 Acta Physica Sinica, 2017, 卷号: 66, 期号: 23 作者:  Yan, C. H.;  T. F. Wang;  H. Y. Zhang;  T. Lu and S. S. Wu 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2018/06/13