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长春光学精密机械与物... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2017 [4]
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发表日期:2017
专题:长春光学精密机械与物理研究所
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CCD紫外增强薄膜旋涂法工艺优化
期刊论文
光谱学与光谱分析, 2017, 页码: 2826-2831
作者:
冯宇祥
;
孟银霞
;
张国玉
;
吴一辉
;
郝鹏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2018/04/09
紫外增强
旋涂法
荧光薄膜
工艺优化
基于多光束照明的回波光场散斑抑制机理
期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2333-2338
作者:
王锐
;
史瑞新
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2018/04/09
激光主动探测
多光束照明
散斑效应
粗糙度
利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度
期刊论文
光学技术, 2017, 页码: 208-211
作者:
岳巾英
;
王泰升
;
李素文
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2018/04/09
功率谱密度(Psd)
表面粗糙度(Ra)
离子束抛光
碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响
期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者:
王依
;
卢启鹏
;
高云国
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浏览/下载:46/0
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提交时间:2018/04/09
薄膜
极紫外光刻
碳污染
清洗技术
反射率
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