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	离子束溅射制备Ta2O5/SiO2薄膜的应力特性研究学位论文硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 作者: 余琪收藏 \| 浏览/下载：27/0 \| 提交时间：2017/06/14 薄膜应力，离子束溅射技术，光学薄膜，有限元分析

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