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过程工程研究所 [1]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2016 [4]
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发表日期:2016
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远程等离子体辅助原子层沉积技术制备HfO2薄膜及HfO2/Ge界面性质研究
学位论文
2016, 2016
池晓伟
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2017/06/20
远程等离子体辅助原子层沉积
HfO2/Ge界面
N2等离子体预处理
Remote plasma Atomic Layer deposition
HfO2/Ge interface
N2 plasma pretreatment
有机硅单体合成高效三元铜催化剂的研究
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:
韩振藏
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浏览/下载:105/0
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提交时间:2017/09/08
直接合成反应
二甲基二氯硅烷
铜催化剂
部分氧化
Efficient bending and focusing of light beam with all-dielectric subwavelength structures
期刊论文
OPTICS COMMUNICATIONS, 2016, 卷号: 366, 页码: 174-178
作者:
Shen, Yue
;
Luo, Xiangang
收藏
  |  
浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2016/06/27
Phase shift
Subwavelength structures
Metamaterials
Optimization and Evaluation of Sputtering Barrier/Seed Layer in Through Silicon Via for 3-D Integration
期刊论文
2016, 2016
Tiwei Wei
;
Jian Cai
;
Qian Wang
;
Yang Hu
;
Lu Wang
;
Ziyu Liu
;
Zijian Wu
;
Tiwei Wei
;
Jian Cai
;
Qian Wang
;
Yang Hu
;
Lu Wang
;
Ziyu Liu
;
Zijian Wu
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