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共12条,第1-10条
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发表日期:2016
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Dry etched sio2 mask for hgcdte etching process
期刊论文
Journal of electronic materials, 2016, 卷号: 45, 期号: 9, 页码: 4705-4710
作者:
Chen, Y. Y.
;
Ye, Z. H.
;
Sun, C. H.
;
Deng, L. G.
;
Zhang, S.
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2019/05/09
Sio2 mask
Auto-stopping point
Hgcdte
Icp etching
Novel combined through-wafer-groove fabrication approach and its application in wafer level packaging of gaas ccd
期刊论文
Microsystem technologies-micro-and nanosystems-information storage and processing systems, 2016, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 1983-1989
作者:
Ye, Jiaotuo
;
Wang, Shuangfu
;
Zhu, Chunsheng
;
Xu, Gaowei
;
Luo, Le
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2019/05/09
硅晶圆上窄节距互连铜凸点
期刊论文
2016, 2016
刘子玉
;
蔡坚
;
王谦
;
程熙云
;
石璐璐
;
LIU Ziyu
;
CAI Jian
;
WANG Qian
;
CHENG Xiyun
;
SHI Lulu
收藏
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浏览/下载:11/0
湿法刻蚀腔室结构数值优化
期刊论文
2016, 2016
王伟
;
向东
;
杨为
;
夏焕雄
;
张瀚
;
WANG Wei
;
XIANG Dong
;
YANG Wei
;
XIA Huan-xiong
;
ZHANG Han
收藏
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浏览/下载:4/0
Fabricating Photosensitive Polymer Insulation Layer by Spin-coating for Through Silicon Vias
会议论文
The 17th International Conference on electronic packing Technology (ICEPT 2016), Changsha,China
作者:
Qiang Liu
;
Guoping Zhang
;
Rong Sun
;
S. W. Ricky Lee
;
C. P. Wong
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2017/01/15
Highly effective and uniform SERS substrates fabricated by etching multi-layered gold nanoparticle arrays
期刊论文
NANOSCALE, 2016
Zhang, Li
;
Guan, Changrong
;
Wang, Ying
;
Liao, Jianhui
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2017/12/03
ENHANCED RAMAN-SPECTROSCOPY
SCATTERING SERS
HOT-SPOTS
LOW-COST
SILVER
NANOSTRUCTURES
CHIPS
An Improved Manufacturing Approach for Discrete Silicon Microneedle Arrays with Tunable Height-Pitch Ratio
期刊论文
SENSORS, 2016
Wang, Renxin
;
Wang, Wei
;
Li, Zhihong
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2017/12/03
discrete
microneedle
KOH etching
octagonal pyramid
ELECTRODE ARRAY
FABRICATION
DELIVERY
Bulk molybdenum field emitters by inductively coupled plasma etching
期刊论文
PHYSICAL CHEMISTRY CHEMICAL PHYSICS, 2016
Zhu, Ningli
;
Cole, Matthew T.
;
Milne, William I.
;
Chen, Jing
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2017/12/03
EMISSION CHARACTERISTICS
FABRICATION
ARRAYS
CATHODE
TIPS
LITHOGRAPHY
SILICON
SI
Nanoscale Ge Fin Etching Using Inductively Coupled Plasma for Ge-based Multi-gate Devices
其他
2016-01-01
Bingxin Zhang
;
Xia An
;
Yuxuan Xia
;
Ming Li
;
Meng Lin
;
Peilin Hao
;
Xing Zhang
;
Ru Huang
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2017/12/03
roughness
etching
fabrication
uniformity
inductively
optimizing
layout
illustrated
scaling
removed
roughness
etching
fabrication
uniformity
inductively
optimizing
layout
illustrated
scaling
removed
High-precision structure fabrication based on an etching resistance layer
期刊论文
Proceedings of SPIE: 8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Advanced Optical Manufacturing Technologies, 2016, 卷号: 9683, 页码: 96830C
作者:
Zhang, Man
;
Deng, Qiling
;
Shi, Lifang
;
Cao, Axiu
;
Pang, Hui
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2018/06/14
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