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| DLC膜的多气源制备及应用 学位论文
2016, 2016
魏晓丽
  收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2017/06/20
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| 远程等离子体辅助原子层沉积技术制备HfO2薄膜及HfO2/Ge界面性质研究 学位论文
2016, 2016
池晓伟
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2017/06/20
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| 柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210550894.2, 申请日期: 2016-09-21, 公开日期: 2014-06-18
作者: 张俊彦 ; 张斌
收藏 | 浏览/下载：34/0 | 提交时间：2017/05/08 |
| 原子层沉积生长电学性质可调ZnO薄膜工艺 期刊论文
微纳电子技术, 2016
作者: 张思敏; 夏洋; 程嵩
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2017/05/09 |
| InP表面氮化对Al2O3/InP金属氧化物半导体电容界面特性及漏电特性的影响 期刊论文
真空科学与技术学报, 2016
作者: 曹明民; 林子曾; 刘洪刚; 王盛凯
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2017/05/08 |
| 一种透明聚合物表面的透明疏水耐磨类金刚石薄膜的制备方法 专利
专利号: CN105861990A, 申请日期: 2016-08-17, 公开日期: 2016-08-17
作者: 孙丽丽; 汪爱英; 郭鹏; 张栋; 李晓伟
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2018/01/11 |
| 在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110427990.3, 申请日期: 2016-06-15, 公开日期: 2013-06-19
作者: 张俊彦; 张斌; 强力; 杨涛; 郑愉
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2016/06/27 |
| 碳氢薄膜类富勒烯结构调控与摩擦学性能 学位论文
理学博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
作者: 汪佳
收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2016/11/24
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| 消除接触孔工艺中桥接的方法 专利
专利号: CN201110208407.X, 申请日期: 2016-05-18, 公开日期: 2013-01-30
作者: 王桂磊; 李俊峰; 赵超
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2017/07/03 |
| 阳极场辅磁控溅射镀膜装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520836093.1, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
作者: 张斌; 张俊彦; 高凯雄; 强力; 王健
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2017/05/05 |
