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相位分辨干涉光谱调制技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  裴卓然
收藏  |  浏览/下载:50/0  |  提交时间:2016/11/28
触摸屏模组光电检测技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  刘杰
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2016/11/28
基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  方伟
收藏  |  浏览/下载:128/0  |  提交时间:2016/11/28
Measurement of Wavefront Aberration of Extreme Ultraviolet Lithographic Projection Lens Based on Ptychography 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 10, 页码: 1012002
作者:  Meng ZJ(孟泽江);  Li J(李杰);  Zhu PH(朱鹏辉);  Wang XC(王向朝);  Tang F(唐锋)
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2017/12/25
Measurement of Wavefront Aberration of Extreme Ultraviolet Lithographic Projection Lens Based on Ptychography 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 10, 页码: 1012002
作者:  Meng ZJ(孟泽江);  Fang W(方伟);  Tang F(唐锋);  Wang XC(王向朝);  Zhu PH(朱鹏辉)
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2017/12/25


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