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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2016    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 22-31 作者:  卢禹先;  齐向东;  糜小涛;  姜珊;  于海利 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2017/09/17 衍射  光栅拼接  干涉仪  衍射波前  拼接误差   极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166 作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2017/09/17 薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/Si多层膜   机载刚性支撑式快速控制反射镜设计 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 126-133 作者:  徐新行;  韩旭东;  王兵;  王恒坤;  庄昕宇 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2017/09/17 快速控制反射镜  刚性支撑  差分测量  控制带宽  指向精度