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微压电加速度传感器芯片及其制作方法 专利
申请日期: 2016-05-04,
作者:  田边;  刘汉月;  杨宁
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低侧向效应微压电加速度传感器芯片及其制作方法 专利
申请日期: 2016-02-24,
作者:  田边;  刘汉月;  杨宁
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基于驱动梁阵列的石英谐振式直流电压传感器芯片 专利
申请日期: 2016-02-03,
作者:  刘岩;  王海;  赵玉龙;  秦红波;  谢永强
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