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科研机构
厦门大学 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2016 [2]
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发表日期:2016
内容类型:学位论文
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用于MEMS微镜监测的光电集成位置传感芯片的研究
学位论文
2016, 2016
郑明
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提交时间:2017/06/20
光电传感器
微镜
位移和旋转
Optoelectronic sensor
micromirror
displacement and tilt
超短脉冲激光硅材料表面改性
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
柏锋
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浏览/下载:74/0
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提交时间:2016/11/28
超短脉冲激光
退火
着色
脉冲前沿倾斜
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