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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2015     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 扫描干涉场曝光系统干涉条纹测量与调整方法研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者:  姜珊 收藏  |  浏览/下载：101/0  |  提交时间：2015/11/30 全息光栅  扫描干涉场曝光系统  曝光对比度  干涉条纹  曝光刻线相位  光栅周期   极紫外光刻含缺陷掩模理论模型的建立和仿真验证 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  管文超 收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2016/11/28 极紫外光刻  掩模衍射场  缺陷  快速仿真计算  米散射   极紫外光刻含缺陷掩模仿真模型及缺陷的补偿 期刊论文 光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 822006 作者:  刘晓雷;  王向朝;  李思坤 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/11/28