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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2015    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于混合梯度下降的高性能光刻机离轴照明衍射光学元件设计 期刊论文 光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 122005 作者:  宋强;  朱菁;  王健;  张方;  吕向博 收藏  |  浏览/下载：91/0  |  提交时间：2016/11/28 An approach to increase efficiency of DOE based pupil shaping technique for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文 opt. express, 2015, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 4482 作者:  Zhang, Fang;  Zhu, Jing;  Yue, Weirui;  Wang, Jian;  Song, Qiang 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/11/28 Fabrication error analysis for diffractive optical elements used in a lithography illumination system 期刊论文 opt. eng., 2015, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 45102 作者:  Wang, Jian;  Zhang, Fang;  Song, Qiang;  Zeng, Aijun;  Zhu, Jing 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/11/28