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上海光学精密机械研究... [6]
内容类型
学位论文 [4]
期刊论文 [2]
发表日期
2015 [6]
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发表日期:2015
专题:上海光学精密机械研究所
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极紫外光刻掩模建模与缺陷补偿方法研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
刘晓雷
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浏览/下载:87/0
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提交时间:2016/11/28
极紫外光刻
掩模模型
缺陷补偿
图形偏移
吸收层修正
基于散射模型的光学相干层析成像技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
郭昕
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浏览/下载:45/0
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提交时间:2016/11/28
光学相干层析成像
散射性质
散射模型
分辨率
相对论激光驱动的离子加速问题的研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
王晓峰
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2016/11/28
相对论激光
离子加速
三倍频
连续加速
光学薄膜重频多脉冲损伤实验和机制研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
刘文文
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2016/11/28
光学薄膜
重频
多脉冲
激光损伤
累积效应
Standing quasi-diffraction-free beams generated by circular Dammann gratings under high-order radially polarized Laguerre-Gaussian incidence
期刊论文
opt. commun., 2015, 卷号: 335, 页码: 102
作者:
Yu, Junjie
;
Zhou, Changhe
;
Wu, Jun
;
Zhu, Linwei
;
Jia, Wei
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2016/11/28
一种频域光学相干层析成像深度分辨率增强技术
期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 3, 页码: 311002
作者:
郭昕
;
王向朝
;
南楠
;
李中梁
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2016/11/28
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