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长春光学精密机械与物... [5]
内容类型
学位论文 [3]
期刊论文 [2]
发表日期
2015 [5]
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发表日期:2015
专题:长春光学精密机械与物理研究所
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杂质诱导磷锗锌晶体光学薄膜激光损伤的研究
期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 06, 页码: 224-231
作者:
郝明明
;
路国光
;
汪丽娜
;
秦莉
;
朱洪波
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2016/07/06
薄膜
激光损伤
杂质诱导
磷锗锌晶体
有限元仿真
极紫外光刻物镜系统光学设计研究
学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:
王君
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浏览/下载:118/0
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提交时间:2015/11/30
极紫外光刻
光学设计
多层膜
杂散光
一维周期性光学薄膜的紫外超材料性质研究
学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2015
作者:
赵晶晶
收藏
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浏览/下载:98/0
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提交时间:2015/11/30
超材料
金属
电介质
紫外
负折射
聚焦
极紫外光学薄膜元件表面抗污染保护层及相关技术研究
学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:
王珣
收藏
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浏览/下载:61/0
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提交时间:2015/11/30
极紫外光刻
极紫外反射镜
表面碳沉积
表面保护层
非周期多层膜
深紫外光刻光学薄膜
期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 169-181
作者:
张立超
;
才玺坤
;
时光
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/07/06
深紫外光刻
超精密光学
膜系设计
光学性能保障
环境适应性
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