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金属研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2015 [2]
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发表日期:2015
专题:金属研究所
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多模式交变耦合磁场辅助电弧离子镀弧源设计
期刊论文
真空科学与技术学报, 2015, 期号: 8
郎文昌
;
赵战锋
;
杜昊
;
高斌
;
王向红
;
程岐生
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/04/19
多模式交变耦合磁场
离子镀弧源
轴对称发散磁场
多模式反极性动态聚焦导引磁场
动态拱形耦合磁场
磁场模拟在磁控溅射/阴极弧离子镀中的应用
期刊论文
中国表面工程, 2015, 期号: 2
雷浩
;
肖金泉
;
郎文昌
;
张小波
;
宫骏
;
孙超
收藏
  |  
浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2016/04/19
外加电磁线圈
磁控溅射
阴极弧离子镀
旋转磁场
弧源设计
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