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科研机构
北京大学 [22]
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其他 [18]
会议论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2015 [22]
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共22条,第1-10条
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发表日期:2015
专题:北京大学
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DROP TO MEASURE: A NOVEL NANOFLUIDIC CRYSTAL SENSING SCHEME WITH IMPROVED CHIP-TO-CHIP DATA CONSISTENCY FOR PORTABLE BIOCHEMICAL DETECTION
其他
2015-01-01
Wang, Baojun
;
Zhao, Wenda
;
Zhang, Rui
;
Wang, Wei
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2017/12/03
TRIBOELECTRIFICATION BASED ACTIVE SENSOR FOR POLYMER DISTINGUISHING
其他
2015-01-01
Meng, B.
;
Cheng, X. L.
;
Han, M. D.
;
Chen, H. T.
;
Zhu, F. Y.
;
Zhang, H. X.
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2017/12/03
GENERATOR
ENERGY
NANOGENERATORS
NEMS VARIABLE OPTICAL ATTENUATOR (VOA) DRIVEN BY OPTICAL FORCE
其他
2015-01-01
Dong, B.
;
Cai, H.
;
Gu, Y. D.
;
Yang, Z. C.
;
Jin, Y. F.
;
Hao, Y. L.
;
Kwong, D. L.
;
Liu, A. Q.
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2017/12/03
3D MORPHOLOGY RECONSTRUCTION OF HIGH ASPECT RATIO MEMS STRUCTURE BY USING AUTOFLUORESCENCE OF PARYLENE C
其他
2015-01-01
Zhang, Lingqian
;
Liu, Yaoping
;
Yang, Fang
;
Wang, Wei
;
Zhang, Dacheng
;
Li, Zhihong
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2017/12/03
Hard mask free DRIE of crystalline Si nanobarrel with 6.7nm wall thickness and 50/1 aspect ratio
其他
2015-01-01
Liu, Peng
;
Yang, Fang
;
Wang, Wei
;
Luo, Kui
;
Wang, Ying
;
Zhang, Dacheng
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2017/12/03
谐振式微型电场传感器芯片级真空封装及测试
期刊论文
电子与信息学报, 2015
毋正伟
;
彭春荣
;
杨鹏飞
;
闻小龙
;
李冰
;
夏善红
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2017/12/03
微机电系统
微型电场传感器
芯片级
真空封装
Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)
Electric field micro-sensor
Chip-level
Vacuum package
Computation of capacitance and electrostatic forces for the electrostatically driving actuators considering fringe effects
期刊论文
MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2015
Fang, Dongming
;
Zheng, Fengjie
;
Chen, Bo
;
Wang, Yu
;
Fang, Yigeng
;
Yang, Pengfei
;
Wen, Xiaolong
;
Peng, Chunrong
;
Xia, Shanhong
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2017/12/03
MEMS COMB DRIVE
LATERAL INSTABILITY
NONLINEAR REGIONS
DISPLACEMENT
FINGERS
DEVICES
MOTION
BONDING-FRIENDLY PCPDMS: DEPOSITING PARYLENE C INTO PDMS MATRIX AT AN ELEVATED TEMPERATURE
其他
2015-01-01
Liu, Yaoping
;
Zhang, Lingqian
;
Wang, Wei
;
Wu, Wengang
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2017/12/03
Nano-optomechanical static random access memory (SRAM)
其他
2015-01-01
Dong, B.
;
Cai, H.
;
Gu, Y.D.
;
Yang, Z.C.
;
Jin, Y.F.
;
Hao, Y.L.
;
Kwong, D.L.
;
Liu, A.Q.
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2017/12/03
A THREE-STEP MODEL OF BLACK SILICON FORMATION IN DEEP REACTIVE ION ETCHING PROCESS
其他
2015-01-01
Zhu, Fuyun
;
Wang, Chen
;
Zhang, Xiaosheng
;
Zhao, Xin
;
Zhang, Haixia
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2017/12/03
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