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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 发表日期：2015    内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Nano/micro-electro mechanical systems: a patent view 期刊论文 JOURNAL OF NANOPARTICLE RESEARCH, 2015, 卷号: 17, 期号: 12 作者:  Hu, Guangyuan;  Liu, Weishu 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/08/22 MEMS  Research and development  Derwent Innovations Index  Text mining   Precaution and early warning of surface failure of slopes using tilt sensors 期刊论文 SOILS AND FOUNDATIONS, 2015, 卷号: 55, 期号: 5, 页码: 1086-1099 作者:  Uchimura, Taro;  Towhata, Ikuo;  Wang, Lin;  Nishie, Shunsaku;  Yamaguchi, Hiroshi 收藏  |  浏览/下载：66/0  |  提交时间：2015/12/21 Slope failure  Monitoring  Early warning  Tilt angle  Sensor network   谐振式微型电场传感器芯片级真空封装及测试 期刊论文 电子与信息学报, 2015 毋正伟; 彭春荣; 杨鹏飞; 闻小龙; 李冰; 夏善红 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2017/12/03 微机电系统  微型电场传感器  芯片级  真空封装  Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)  Electric field micro-sensor  Chip-level  Vacuum package   Computation of capacitance and electrostatic forces for the electrostatically driving actuators considering fringe effects 期刊论文 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2015 Fang, Dongming; Zheng, Fengjie; Chen, Bo; Wang, Yu; Fang, Yigeng; Yang, Pengfei; Wen, Xiaolong; Peng, Chunrong; Xia, Shanhong 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2017/12/03 MEMS COMB DRIVE  LATERAL INSTABILITY  NONLINEAR REGIONS  DISPLACEMENT  FINGERS  DEVICES  MOTION   Micro-electro-mechanical systems capacitive ultrasonic transducer with a higher electromechanical coupling coefficient 期刊论文 Micro & Nano Letters, 2015, 卷号: 10, 期号: 10, 页码: 4 作者:  Miao, J(苗静);  Shen, WJ(沈文江);  He, CD;  Xue, CY;  Xiong, JJ 收藏  |  浏览/下载：81/0  |  提交时间：2015/12/31 silicon  elemental semiconductors  silicon-on-insulator  wafer bonding  electromechanical effects  ultrasonic transducers  capacitive transducers  micromechanical devices  micromachining  vibrations  membranes  finite element analysis  reliability  capacitance  electromechanical coupling coefficient  capacitive micromachined ultrasonic transducer  impedance matching  propagation medium  microelectromechanical system capacitive ultrasonic transducer  silicon on insulator  wafer bonding  optimum geometric dimensions  membrane mechanical vibration  electrical characteristics  finite-element analysis  operation mode  device safety  device reliability  equivalent stress  operation-collapse voltage  bottom electrodes  glass substrate surface  parallel parasitic capacitance  Si  SiO2   Design of MEMS-based micro-filter integrating grating and tunable Fabry-Perot cavity 期刊论文 INTERNATIONAL JOURNAL OF NANOTECHNOLOGY, 2015, 卷号: 12, 期号: 10-12, 页码: 829-837 作者:  Shi, Zhendong;  Fang, Liang;  Zhou, Chongxi 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/02/03 integrated optics devices  micro-electro-mechanical-systems  filters  gratings