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基于飞秒激光技术的GaN薄膜与蓝宝石衬底的剥离方法 专利
专利号: ZLCN201510356066.9, 申请日期: 2015-01-01,
作者:  刘胜;  付兴铭;  刘亦杰;  郑怀;  沈沁宇
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