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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2014     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Study on compatible CMOS-MEMS process with surface micromachining for the application of monolithic integration 其他 2014-01-01 Zhao, Danqi; Huang, Xian; He, Jun; Zhang, Li; Liu, Peng; Yang, Fang; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 Post-CMOS Integration of MEMS Inertial Sensors Using Oxidized Porous Silicon Technique 会议论文 CHEMICAL AND BIOLOGICAL SENSORS 11 -AND- MEMS-NEMS 11, 2014-01-01 作者:  Ge, Daohan[1];  Ren, Naifei[2] 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/24