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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2014     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文 实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57 陈琦; 钟君 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2015/04/17 压电陶瓷  纳米定位  气浮导轨  激光干涉仪