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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2014    内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文 实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57 陈琦; 钟君 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2015/04/17 压电陶瓷  纳米定位  气浮导轨  激光干涉仪   前馈控制算法校正相移微动台非线性运动 期刊论文 电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 8, 页码: 879-884 张春雷; 刘健; 王绍治; 史振广; 代雷; 彭利荣; 向阳 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2015/04/17 压电陶瓷  柔性铰链  位移放大机构  非线性运动校正  相移误差   基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文 应用科技, 2014, 期号: 6 陈琦 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2015/04/17 纳米定位  压电陶瓷  气浮导轨  电容微位移传感器