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沉积温度对钛硅共掺杂类金刚石薄膜生长、结构和力学性能的影响 期刊论文
物理学报, 2014, 卷号: 63, 期号: 2, 页码: 028104(1-7)
作者:  姜金龙;  黄浩;  王琼;  王善民;  魏智强
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2014/12/17


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