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氩离子溅射刻蚀对Ti-Si-C纳米复合薄膜XPS分析的影响 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 977-981
作者:  姜金龙;  陈娣;  王琼;  杨华;  魏智强
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