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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2013     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 High precision electrochemical micromachining based on confined etchant layer technique 期刊论文 http://dx.doi.org/10.1016/j.elecom.2012.12.017, 2013 Lai, Lei-Jie; Zhou, Hang; Du, Yu-Jie; Zhang, Jie; Jia, Jing-Chun; Jiang, Li-Min; Zhu, Li-Min; Tian, Zhao-Wu; Tian, Zhong-Qun; Zhan, Dong-Ping; 田昭武; 田中群; 詹东平 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/07/22 N-GAAS  MICROFABRICATION   Driving Process and Control Analysis In Macro-micro Dual Stage 会议论文 作者:  Fang, Jiwen;  Long, Zhili;  Zhang, Lufan;  Nian, Longsheng 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/10 Mode switching control  Nano-positioning  Precision positioning  Macro-micro dual stage