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磁控溅射电源控制策略的研究 学位论文
: 西安理工大学, 2013
作者:  韩维
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基于FPGA的新型非对称双极脉冲磁控溅射电源的研究 期刊论文
2013, 卷号: 29, 页码: 216-220
作者:  陈桂涛;  孙天乐;  孙强;  钟彦儒
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