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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2012     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Notching效应在MEMS单步干法制造工艺中的应用(英文) 期刊论文 http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=NMJM201002015&dbname=CJFQ2010, 2012, 2012 谢建兵; 苑伟政; 常洪龙 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2017/06/19 notching效应  干法释放  绝缘体上硅  微机电系统