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科研机构
西北工业大学 [1]
长春光学精密机械与物... [1]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2012 [2]
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光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制
期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 46-48+45
齐克奇
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提交时间:2013/03/11
光刻物镜波像差检测平台
针孔定位
自解耦
有限元方法
一种Z轴微机械陀螺的自解耦方法研究
期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=CGJS200605239&dbname=CJFQ2006, 2012, 2012
谢建兵
;
苑伟政
;
常洪龙
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提交时间:2017/06/19
微机械陀螺
机械耦合
模态耦合
解耦梁
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