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一种具有石墨烯结构的非晶碳膜及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2012-11-14, 公开日期: 2013-12-16
柯培玲; 汪爱英; 张学谦
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中频孪生靶非平衡磁控溅射纳米硅薄膜的研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
高俊华
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